미래를 선도하는 친환경 플라즈마 스크러버
The Global Standard of Plasma Gas Scrubber
YHS-04W
반도체와 LCD제조공정에서 사용되는 유해한 PFCs계 GAS를 Heater를 이용하여 환경적으로 완벽하게 분해시키고 처리하는 시스템.
영진아이엔디의 Heat Wet SCRUBBER는 반도체/LCD 작업현장에서 발생하게 되는 폭발성·부식성·독성가스를 Heater를 이용하여 완전 분해 처리 가능
영진아이엔디의 Heat Wet SCRUBBER는 반도체/LCD 작업현장에서 발생하게 되는 폭발성·부식성·독성가스를 Heater를 이용하여 완전 분해 처리 가능
- 반도체 및 LCD산업의 Process 및 Cleaning GAS처리용.
적용분야
- PFCs가스를 포함한 모든 공정 가스
적용가스
제품사양
| Item | YHS-04W |
|---|---|
| TYPE | Heat Wet |
| Dimension | 800 x 800 x 1800 |
| Capacity | 500LPM |
| Weight | 500 kg |
| Inlet | NW40 X 4Port |
| Outlet | MF100 X 1Port |
| Drain | Power Drain |
-
제품특징
높은 분해처리율
Vacuum Pump 후단 제어를 통한 생산 영향 사고 최소화
Scrubber 내 Clogging 방지용 압력 자동제어(PLC제어)
간편한 설치 및 경제적인 유지보수 비용
CO₂발생 방지 (연료 GAS 불필요)
-
적용 공정
및 Gas반도체/LCD 전 공정
적용가스 : PFCs가스를 포함한 All Process GAS
제품구성별 특징
-
- Heater With Inner Housing Decomposition
- - Heater를 이용하여 유해가스 분해처리
- Spray Quenching/Absorption
- - 물분사를 이용한 By-Product의 탁월한 제거 효과
- Auto Power Drain
- - 폐수의 원활한 배출
- Gas Vent
- - Powder, Water, Mist 배출의 최소화
-
- Pressure Control
- - PID 방식의 압력 제어로 장비내 정확한 압력 측정 및 파우더 고착 방지
- Auto Control System
- - PLC기반 Touch Screen Display
- - Auto/Manual 동작 및 간편한 조작성
- - 이상 발생시 Error 표시 및 History 저장 기능
- - 빠른 응답속도와 정확성을 갖는 PLC Control
- By-Pass Function
- - 3-way Pneumatic 밸브를 이용한 처리가스 자동 유도
제품사양
| Model Name | Dimension [W x D x H] | Capacity(Ipm) | Inlet Q’ty[EA] | Applicable Process | Remarks |
|---|---|---|---|---|---|
| YHS-04W | 800 x 800 x 1800 | 500 | 4 | CVD, T/F, DIFF | For wafer process |
Utility 사양
| Cabinet Dimension(mm) | WIDTH | DEPTH | HEIGHT | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 800 | 800 | 1800 | ||||
| POWER | 전압(V) | AC 208V | ||||
| 상(PHASE) | 3Phase | |||||
| 전류(A) | 50A, 50 ~ 60Hz, 4lines | |||||
| Max. Capacity | 500LPM | |||||
| UTILITY | SIZE | TYPE | FLOW(LPM) | PRESSURE(PSI) | ||
| GAS | 1 | GN2 | 3/8” | SUS | 15 ~ 30 | 80 ~ 85 |
| 2 | CDA | 3/8” | SUS | 100LPM | 80 ~ 85 | |
| WATER | 3 | PCW IN | 1/2” | SUS | 7 ~ 10 | 50 ~ 71 |
| 4 | PCW OUT | 1/2” | SUS | 7 ~ 10 | 50 ~ 71 | |
| 5 | NPW | 1/2” | SUS | 4 ~ 20 | 35 ~ 71 | |
| EXHAUST | 6 | CABINET | MF100 | SUS | 600 | |
| USER GAS | 7 | INLET | NW40 | SUS | 150 | |
| 8 | OUTLET | MF100 | SUS | 600 | ||
| 9 | BY-PASS | NW40 | SUS | 150 | ||
| DRAIN | 10 | POQWR | 1” | CPVC | Use Forced Drain | |
TAGET ABATEMENT GAS
PFC gases : NF3, SF6, etc.
Flammable gases : SIH4, TEOS, H2, PH3, etc.
Water Soluble gases : BCL3, Clw, HF, HCl, NH3, etc.
